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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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光学类

研发中心-光学检测

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王晓明

wangxiaoming@ciomp.ac.cn

研究方向：精密光学测量与检测、高精度位移传感 主要研究内容：1、研究光学镜头波像差检测方法、微电子装备中高精度测量与检测。2、设计和改善反射式光栅尺图形，抑制光栅尺模拟信号的高次谐波。设计光栅位移传感器周期内误差分析方法。提高反射式光栅传感器安装公差的方法研究。

博士

光学、光学工程、机械工程、仪器科学与技术等相关专业